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원익IPS, 공정 챔버 특허 취득 입력 : 2012-03-09 오후 1:57:14 크게 작게 [뉴스토마토 송종호기자] 원익IPS(030530)는 9일 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버 특허권을 취득했다고 공시했다. 원익IPS "챔버내부의 플라즈마 밀도를 향상시켜 세정 효율을 개선할 수 있는 반도체 제조 장치 특허"라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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