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원익IPS, 박막증착장치 특허 취득 입력 : 2012-03-28 오전 11:37:53 크게 작게 [뉴스토마토 조필현기자] 원익IPS(030530)는 28일 원료가스 및 퍼지가스를 순차적으로 공급해 박막이 증착되도록 하는 가스분사조립체를 적용한 박막증착장치 특허권을 취득했다고 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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