로체시스템즈, '초박막 웨어퍼' 관련 특허 취득

입력 : 2012-09-12 오전 11:28:40

[뉴스토마토 김용훈기자] 로체시스템즈(071280)는 12일 '엔드 이펙터' 관련 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사는 "개발 중인 반도체 후동정용 웨이퍼 가동장비에 적용되는 기술"이라고 전했다.

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김용훈 기자

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