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테스, 대면적 기판 처리 장치 특허권 취득 입력 : 2013-05-28 오전 10:47:11 크게 작게 [뉴스토마토 조아름기자] 테스(095610)는 대면적 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다. 이 장치는 기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있다. 테스는 "이번 특허기술 적용으로 신규장비 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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