로체시스템즈, 밀폐형 카세트 적재장치 특허 취득

입력 : 2013-07-05 오후 1:24:21
[뉴스토마토 조필현기자] 로체시스템즈(071280)는 5일 밀폐형 카세트 적재장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
 
회사측은 "반도체 제조장치에 적용될 예정"이라고 설명했다.
 
 
ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
조필현 기자
조필현기자의 다른 뉴스