주성엔지니어링, 실리콘 나이트라이드 증착 관련 특허 취득

입력 : 2010-10-13 오전 11:59:18

[뉴스토마토 정경준기자] 주성엔지니어링(036930)은 13일 실리콘 나이트라이드의 원자층 증착 방법 관련 특허를 취득했다고 밝혔다.

 

이번 특허는 증착 속도 향상과 공정 효율의 증가를 위한 실리콘 나이트라이드 증착 방법에 관한 것이라고 회사측은 설명했다.

 

회사측은 자사 반도체, FPD 장비 사업의 경쟁력 강화에 이번 특허를 활용할 계획이라고 덧붙였다.

  

뉴스토마토 정경준 기자 jkj8566@etomato.com

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