주성엔지니어링, 반도체 웨이퍼 제조장비 관련 특허권 취득

입력 : 2010-11-08 오후 12:45:02

[뉴스토마토 문경미기자] 주성엔지니어링(036930)은 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록에서 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

 

회사 측은 "이번 발명은 히터블록몸체의 세정을 보다 간편하게 해서 양산성을 향상시킨 히터블록에 관한 특허"라고 설명했다.

 

뉴스토마토 문경미 기자 iris0602@etomato.com

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