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테스, 반도체 제조장치 특허 취득 입력 : 2011-01-05 오후 2:28:42 크게 작게 [뉴스토마토 김동현기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치와 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 회사 측은 "이번 특허는 반도체식각장비와 관련된 것으로 기술·원가경쟁력을 향상시킬 것"이라고 설명했다. 뉴스토마토 김동현 기자 threecode@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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