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테스, 박막증착장치 특허권 취득 입력 : 2014-04-08 오후 1:40:38 크게 작게 [뉴스토마토 정해훈기자] 테스(095610)는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다. 이번 특허기술을 적용하면 증착 공정을 수행하는 내부 환경과 기판에 증착되는 박막의 품질을 균일하게 유지할 수 있다. 또 도어장치가 반응가스에 의해 영향을 받는 것을 방지해 수명을 늘릴 수 있으며, 유지보수를 쉽게 할 수 있다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지
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