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테스, 유기금속화학증착 특허권 취득

입력 : 2013-10-14 오후 4:28:15
[뉴스토마토 정해훈기자] 테스(095610)는 유기금속화학증착 반응기에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
 
테스는 "이번 특허로 회전하는 가스 분배기를 이용해 가스를 공급함으로써 기판에 균일한 막질을 형성할 수 있으며, 소모되는 가스의 양을 감소시킬 수 있다"고 설명했다.
 
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정해훈 기자
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